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簡(jiǎn)單介紹:
Keithley2600B系列數(shù)字原表系統(tǒng)2634B/2635B/2636B系列產(chǎn)品包括單通道和雙通道型號(hào),集成了高精密電源、真正電流源、6位半數(shù)字多用表(DMM)、任意波形發(fā)生器、脈沖發(fā)生器以及電子負(fù)載等功能——這些功能都在一個(gè)高度集成的儀器機(jī)箱內(nèi)。
詳情介紹:
Keithley2600B系列數(shù)字原表系統(tǒng)2634B/2635B/2636B
2600B系列系統(tǒng)數(shù)字源表源測(cè)量單元(SMU)儀表是業(yè)界**的電流/電壓源 與測(cè)量解決方案,它是利用吉時(shí)利第三代源測(cè)量單元(SMU)技術(shù)建造的。2600B 系列產(chǎn)品包括單通道和雙通道型號(hào),集成了高精密電源、真正電流源、6位半數(shù)字多用表(DMM)、任意波形發(fā)生器、脈沖發(fā)生器以及電子負(fù)載等功能——這些功能都在一個(gè)高度集成的儀器機(jī)箱內(nèi)。這是一個(gè)功能強(qiáng)大的解決方案,大大提高了從臺(tái)式 I/V特性分析道高度自動(dòng)化生產(chǎn)測(cè)試等各種應(yīng)用中的測(cè)試效率。對(duì)于臺(tái)式應(yīng)用,2600B系列數(shù)字源表內(nèi)置基于Java的測(cè)試軟件,支持即插即用I/V測(cè)試,可以通過(guò)世界各地任何計(jì)算機(jī)瀏覽器運(yùn)行。對(duì)于自動(dòng)化系統(tǒng)應(yīng)用,2600B系列數(shù)字源表的測(cè)試腳本處理器(TSP),可以運(yùn)行儀器內(nèi)存儲(chǔ)的完整測(cè)試程序,實(shí)現(xiàn)超高的吞吐量。在更大型的多通道應(yīng)用中,吉時(shí)利的TSP-Link技術(shù)與TSP協(xié)同工作,實(shí)現(xiàn)了高度、SMU-per-pin并行測(cè)試。由于2600B系列數(shù)字源表源測(cè)量單元(SMU)儀表具有不需要主機(jī)的、完全隔離的通道,因此,可以根據(jù)測(cè)試應(yīng)用需求的進(jìn)展,很容易進(jìn)行重新配置和重新部署。
基于Java的即插即用I/V測(cè)試軟件
2600B系列數(shù)字源表是內(nèi)置基于Java測(cè)試軟件的源測(cè)量單元(SMU)儀表, 支持真正的即插即用I/V特性分析,可以通過(guò)世界各地任何計(jì)算機(jī)瀏覽器運(yùn)行。這個(gè)獨(dú)特功能提高了研發(fā)、教育和QA/FA等各種應(yīng)用的測(cè)試效率。只需通過(guò)附送的 LAN電纜,將2600B數(shù)字源表連接至互聯(lián)網(wǎng),打開(kāi)瀏覽器,輸入2600B的IP低至,即可開(kāi)始測(cè)試。測(cè)試結(jié)果可以下載之電子數(shù)據(jù)表(如Excel),供進(jìn)一步的分析和格式化,或者導(dǎo)入其他文檔或演示文稿。
Keithley2600B系列數(shù)字原表系統(tǒng)2634B/2635B/2636B采用TSP技術(shù),提供****的吞吐量,適合自動(dòng)測(cè)試
對(duì)于需要*高自動(dòng)化和吞吐量級(jí)別的測(cè)試應(yīng)用來(lái)說(shuō),2600B數(shù)字源表的TSP技術(shù)提供了優(yōu)良的性能。TSP技術(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越傳統(tǒng)的測(cè)試命令序列……它完全嵌入,然后,在源測(cè)量單元(SMU)儀器內(nèi)部執(zhí)行完整的測(cè)試程序。這實(shí)際上避免了所 有耗時(shí)的總線-PC控制器之間的通信,因此,大幅縮短整個(gè)測(cè)試時(shí)間。
TSP技術(shù)將執(zhí)行來(lái)自2600B系列數(shù)字源表內(nèi)非易失性存儲(chǔ)的完整測(cè)試程序。
通過(guò)TSP-Link技術(shù),實(shí)現(xiàn)SMU-Per-Pin并行測(cè)試
TSP-Link是通道擴(kuò)展總線,支持多 個(gè)2600B系列數(shù)字源表互連,成為一個(gè)單 一、嚴(yán)格同步的多通道系統(tǒng)。2600B的 TSP-Link技術(shù)與其TSP技術(shù)協(xié)同工作,支 持高速、SMU-per-pin并行測(cè)試。與大型 自動(dòng)測(cè)試設(shè)備系統(tǒng)等其他高速解決方案 不同的是,2600B在無(wú)需主機(jī)成本或負(fù)擔(dān) 情況下,實(shí)現(xiàn)了并行測(cè)試性能?;赥SP -Link技術(shù)的系統(tǒng),還支持出眾的靈活性, 可以根據(jù)測(cè)試需求的變化,迅速而容易 地對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行重新配置。
在TSP-Link系統(tǒng)中,所有通道的同步都控制在 500ns以內(nèi)。
2400型軟件仿真
2600B系列數(shù)字源表,與為吉時(shí)利2400 型數(shù)字源表源測(cè)量單元(SMU)儀表開(kāi)發(fā)的測(cè)試代碼兼容。這使得基于2400型數(shù)字源 表的測(cè)試系統(tǒng)更容易地升級(jí)至2600B系列, 并使測(cè)試速度提高高達(dá)80%。此外,它還提供了從SCPI編程轉(zhuǎn)到吉時(shí)利TSP技術(shù)的過(guò)渡路徑,實(shí)施后,可以進(jìn)一步縮短測(cè)試時(shí)間。
為了**支持**的測(cè)試系統(tǒng),在這個(gè)模式下,還完全支持2400型源存儲(chǔ)清單測(cè)試序列。
第三代SMU設(shè)計(jì),確保實(shí)現(xiàn)更快的測(cè)試時(shí)間
在早期2600系列儀器成熟的架構(gòu)基礎(chǔ) 上,2600B系列*新的源測(cè)量單元(SMU) 儀表設(shè)計(jì)從幾個(gè)方面提高了測(cè)試速度。例 如,早期的設(shè)計(jì)采用的是并聯(lián)電流量程調(diào) 節(jié)結(jié)構(gòu),而2600 B系列采用了已申請(qǐng)**(發(fā)明**,**號(hào)CN104935322)的串聯(lián)量程調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),這種結(jié)構(gòu)具有更快 更平滑的量程變換過(guò)程和穩(wěn)定速度更快的 輸出。
SMU-Per-Pin并行測(cè)試采用TSP與TSP-Link技術(shù),提高測(cè)試吞吐量,并降低測(cè)試成本。
2600B系列數(shù)字源表源測(cè)量單元 (SMU)儀表設(shè)計(jì)支持對(duì)各種負(fù)載使用 兩種操作模式。在普通模式下,源測(cè) 量單元(SMU)儀表為*大吞吐量提供 高帶寬性能。在高電容模式下,源測(cè) 量單元(SMU)儀表使用較慢的帶寬, 為較高電容負(fù)載提供魯棒的性能。
簡(jiǎn)化半導(dǎo)體元件測(cè)試、驗(yàn)證與分析
可選配的ACS Basic版本軟件實(shí)現(xiàn)了客戶效率的*大化,使客戶可以在開(kāi)發(fā)、質(zhì)量認(rèn)證或故障分析中,對(duì)封裝器件進(jìn)行特性分析。主要特性包括:
內(nèi)容豐富、易于訪問(wèn)的測(cè)試庫(kù)
腳本編輯器,實(shí)現(xiàn)現(xiàn)有測(cè)試的快速定制
數(shù)據(jù)工具,便于迅速比較測(cè)試結(jié)果
公式工具,便于分析俘獲的曲線,并提供多種數(shù)據(jù)函數(shù)。
欲了解有關(guān)ACS Basic版本軟件的更多信息,參見(jiàn)ACS Basic版本數(shù)據(jù)表。
強(qiáng)大的軟件工具
除了基于Java的嵌入式即插即用軟 件以及可選配的ACS Basic版本軟件,免 費(fèi)Test Script Builder軟件工具,可以 幫助用戶創(chuàng)建、修改、調(diào)試和存儲(chǔ)TSP測(cè) 試腳本。圖1給出2600B系列數(shù)字源表軟 件工具的主要特性。
2600B系列產(chǎn)品3個(gè)*新型號(hào)的雙通道 臺(tái)式數(shù)字源表,提供優(yōu)良的價(jià)值和性能
如果想調(diào)試設(shè)計(jì)問(wèn)題,首先必須知道存在問(wèn)題。每個(gè)設(shè)計(jì)工程師都要用大量的時(shí)間查找電路中的問(wèn)題,如果沒(méi)有合適的調(diào)試工具,這項(xiàng)任務(wù)耗時(shí)長(zhǎng)、非常麻煩。
為了滿足那些不需要**系統(tǒng)級(jí)自 動(dòng)化能力的應(yīng)用需求,吉時(shí)利對(duì)2600B系 列數(shù)字源表進(jìn)行了擴(kuò)展,推出3中*新的高性價(jià)比臺(tái)式型號(hào)產(chǎn)品——2604B、2614B和 2634B。這些型號(hào)產(chǎn)品性能分別與2602B、 2612B和2636B相似,但它們不包括TSP Link、接觸檢查以及數(shù)字I/O能力。
完整的自動(dòng)化系統(tǒng)解決方案
吉時(shí)利S500綜合測(cè)試系統(tǒng)是基于儀 器的、可高度配置的系統(tǒng),適合器件、 晶圓或晶圓盒的半導(dǎo)體特性分析。S500 綜合測(cè)試系統(tǒng)基于已被證明的2600系列 系統(tǒng)數(shù)字源表源測(cè)量單元(SMU),提供 **的測(cè)量特性與系統(tǒng)靈活性,可以根據(jù)需求進(jìn)行升級(jí)。其獨(dú)特的測(cè)量能力, 再加上強(qiáng)大而靈活的自動(dòng)特性分析套 件(ACS)軟件,為客戶提供**的應(yīng)用 范圍和特性,這是市場(chǎng)上競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品所不具備的。
表1 2600B軟件工具
當(dāng)您需要對(duì)封裝器件數(shù)據(jù)進(jìn)行快速采集時(shí),通過(guò) ACS Basic版本軟件基于相當(dāng)?shù)挠脩艚缑妫苋菀?發(fā)現(xiàn)和運(yùn)行期望的測(cè)試,就像常見(jiàn)的 FET曲線跟 蹤測(cè)試一樣。
ACS Basic版本軟件具有靈活的軟件體系結(jié)構(gòu),允許為 系統(tǒng)配置多種控制器與測(cè)試夾具,并可以根據(jù)應(yīng)用需要, 配置所需的數(shù)字源表數(shù)量。
典型應(yīng)用
各種器件的I-V功能測(cè)試和特征分析,包括:
分立和無(wú)源元件
– 兩抽頭器件——傳感器、磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器頭、金屬 氧化物可變電阻(MOV)、二極管、齊納二極 管、電容、熱敏電阻
– 三抽頭器件——小信號(hào)雙極結(jié)型晶體管(BJT)場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET),等等
簡(jiǎn)單IC器件——光學(xué)器件、驅(qū)動(dòng)器、開(kāi)關(guān)、傳感 器、轉(zhuǎn)換器、穩(wěn)壓器
集成器件——小規(guī)模集成(SSI)和大規(guī)模集成(LSI) – 模擬IC
– 射頻集成電路(RFIC)
– 專用集成電路(ASIC)
– 片上系統(tǒng)(SOC)器件
光電器件,例如發(fā)光二極管(LED)、激光二極管高亮度LED(HBLED)、垂直腔面發(fā)射激光器 (VCSEL)、顯示器
圓片級(jí)可靠性
– NBTI、TDDB、HCI、電遷移
太陽(yáng)能電池
2604B/2614B型儀表的背板(單通道2601B, 2611B, 2635B沒(méi)有給出)。
2636B型儀表的背板
在**和第三象限,2600B系列儀器用作信號(hào)源,向負(fù)載提供 電源。在**和第四象限,2600B系列儀器用作信號(hào)宿,內(nèi)部 消耗功率。
2601B、2602B和2604B的I-V測(cè)試功能
2611B、2612B和2614B的I-V 測(cè)試功能
2600B系列系統(tǒng)數(shù)字源表源測(cè)量單元(SMU)儀表是業(yè)界**的電流/電壓源 與測(cè)量解決方案,它是利用吉時(shí)利第三代源測(cè)量單元(SMU)技術(shù)建造的。2600B 系列產(chǎn)品包括單通道和雙通道型號(hào),集成了高精密電源、真正電流源、6位半數(shù)字多用表(DMM)、任意波形發(fā)生器、脈沖發(fā)生器以及電子負(fù)載等功能——這些功能都在一個(gè)高度集成的儀器機(jī)箱內(nèi)。這是一個(gè)功能強(qiáng)大的解決方案,大大提高了從臺(tái)式 I/V特性分析道高度自動(dòng)化生產(chǎn)測(cè)試等各種應(yīng)用中的測(cè)試效率。對(duì)于臺(tái)式應(yīng)用,2600B系列數(shù)字源表內(nèi)置基于Java的測(cè)試軟件,支持即插即用I/V測(cè)試,可以通過(guò)世界各地任何計(jì)算機(jī)瀏覽器運(yùn)行。對(duì)于自動(dòng)化系統(tǒng)應(yīng)用,2600B系列數(shù)字源表的測(cè)試腳本處理器(TSP),可以運(yùn)行儀器內(nèi)存儲(chǔ)的完整測(cè)試程序,實(shí)現(xiàn)超高的吞吐量。在更大型的多通道應(yīng)用中,吉時(shí)利的TSP-Link技術(shù)與TSP協(xié)同工作,實(shí)現(xiàn)了高度、SMU-per-pin并行測(cè)試。由于2600B系列數(shù)字源表源測(cè)量單元(SMU)儀表具有不需要主機(jī)的、完全隔離的通道,因此,可以根據(jù)測(cè)試應(yīng)用需求的進(jìn)展,很容易進(jìn)行重新配置和重新部署。
基于Java的即插即用I/V測(cè)試軟件
2600B系列數(shù)字源表是內(nèi)置基于Java測(cè)試軟件的源測(cè)量單元(SMU)儀表, 支持真正的即插即用I/V特性分析,可以通過(guò)世界各地任何計(jì)算機(jī)瀏覽器運(yùn)行。這個(gè)獨(dú)特功能提高了研發(fā)、教育和QA/FA等各種應(yīng)用的測(cè)試效率。只需通過(guò)附送的 LAN電纜,將2600B數(shù)字源表連接至互聯(lián)網(wǎng),打開(kāi)瀏覽器,輸入2600B的IP低至,即可開(kāi)始測(cè)試。測(cè)試結(jié)果可以下載之電子數(shù)據(jù)表(如Excel),供進(jìn)一步的分析和格式化,或者導(dǎo)入其他文檔或演示文稿。
Keithley2600B系列數(shù)字原表系統(tǒng)2634B/2635B/2636B采用TSP技術(shù),提供****的吞吐量,適合自動(dòng)測(cè)試
對(duì)于需要*高自動(dòng)化和吞吐量級(jí)別的測(cè)試應(yīng)用來(lái)說(shuō),2600B數(shù)字源表的TSP技術(shù)提供了優(yōu)良的性能。TSP技術(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越傳統(tǒng)的測(cè)試命令序列……它完全嵌入,然后,在源測(cè)量單元(SMU)儀器內(nèi)部執(zhí)行完整的測(cè)試程序。這實(shí)際上避免了所 有耗時(shí)的總線-PC控制器之間的通信,因此,大幅縮短整個(gè)測(cè)試時(shí)間。
TSP技術(shù)將執(zhí)行來(lái)自2600B系列數(shù)字源表內(nèi)非易失性存儲(chǔ)的完整測(cè)試程序。
通過(guò)TSP-Link技術(shù),實(shí)現(xiàn)SMU-Per-Pin并行測(cè)試
TSP-Link是通道擴(kuò)展總線,支持多 個(gè)2600B系列數(shù)字源表互連,成為一個(gè)單 一、嚴(yán)格同步的多通道系統(tǒng)。2600B的 TSP-Link技術(shù)與其TSP技術(shù)協(xié)同工作,支 持高速、SMU-per-pin并行測(cè)試。與大型 自動(dòng)測(cè)試設(shè)備系統(tǒng)等其他高速解決方案 不同的是,2600B在無(wú)需主機(jī)成本或負(fù)擔(dān) 情況下,實(shí)現(xiàn)了并行測(cè)試性能?;赥SP -Link技術(shù)的系統(tǒng),還支持出眾的靈活性, 可以根據(jù)測(cè)試需求的變化,迅速而容易 地對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行重新配置。
在TSP-Link系統(tǒng)中,所有通道的同步都控制在 500ns以內(nèi)。
2400型軟件仿真
2600B系列數(shù)字源表,與為吉時(shí)利2400 型數(shù)字源表源測(cè)量單元(SMU)儀表開(kāi)發(fā)的測(cè)試代碼兼容。這使得基于2400型數(shù)字源 表的測(cè)試系統(tǒng)更容易地升級(jí)至2600B系列, 并使測(cè)試速度提高高達(dá)80%。此外,它還提供了從SCPI編程轉(zhuǎn)到吉時(shí)利TSP技術(shù)的過(guò)渡路徑,實(shí)施后,可以進(jìn)一步縮短測(cè)試時(shí)間。
為了**支持**的測(cè)試系統(tǒng),在這個(gè)模式下,還完全支持2400型源存儲(chǔ)清單測(cè)試序列。
第三代SMU設(shè)計(jì),確保實(shí)現(xiàn)更快的測(cè)試時(shí)間
在早期2600系列儀器成熟的架構(gòu)基礎(chǔ) 上,2600B系列*新的源測(cè)量單元(SMU) 儀表設(shè)計(jì)從幾個(gè)方面提高了測(cè)試速度。例 如,早期的設(shè)計(jì)采用的是并聯(lián)電流量程調(diào) 節(jié)結(jié)構(gòu),而2600 B系列采用了已申請(qǐng)**(發(fā)明**,**號(hào)CN104935322)的串聯(lián)量程調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),這種結(jié)構(gòu)具有更快 更平滑的量程變換過(guò)程和穩(wěn)定速度更快的 輸出。
SMU-Per-Pin并行測(cè)試采用TSP與TSP-Link技術(shù),提高測(cè)試吞吐量,并降低測(cè)試成本。
2600B系列數(shù)字源表源測(cè)量單元 (SMU)儀表設(shè)計(jì)支持對(duì)各種負(fù)載使用 兩種操作模式。在普通模式下,源測(cè) 量單元(SMU)儀表為*大吞吐量提供 高帶寬性能。在高電容模式下,源測(cè) 量單元(SMU)儀表使用較慢的帶寬, 為較高電容負(fù)載提供魯棒的性能。
簡(jiǎn)化半導(dǎo)體元件測(cè)試、驗(yàn)證與分析
可選配的ACS Basic版本軟件實(shí)現(xiàn)了客戶效率的*大化,使客戶可以在開(kāi)發(fā)、質(zhì)量認(rèn)證或故障分析中,對(duì)封裝器件進(jìn)行特性分析。主要特性包括:
內(nèi)容豐富、易于訪問(wèn)的測(cè)試庫(kù)
腳本編輯器,實(shí)現(xiàn)現(xiàn)有測(cè)試的快速定制
數(shù)據(jù)工具,便于迅速比較測(cè)試結(jié)果
公式工具,便于分析俘獲的曲線,并提供多種數(shù)據(jù)函數(shù)。
欲了解有關(guān)ACS Basic版本軟件的更多信息,參見(jiàn)ACS Basic版本數(shù)據(jù)表。
強(qiáng)大的軟件工具
除了基于Java的嵌入式即插即用軟 件以及可選配的ACS Basic版本軟件,免 費(fèi)Test Script Builder軟件工具,可以 幫助用戶創(chuàng)建、修改、調(diào)試和存儲(chǔ)TSP測(cè) 試腳本。圖1給出2600B系列數(shù)字源表軟 件工具的主要特性。
2600B系列產(chǎn)品3個(gè)*新型號(hào)的雙通道 臺(tái)式數(shù)字源表,提供優(yōu)良的價(jià)值和性能
如果想調(diào)試設(shè)計(jì)問(wèn)題,首先必須知道存在問(wèn)題。每個(gè)設(shè)計(jì)工程師都要用大量的時(shí)間查找電路中的問(wèn)題,如果沒(méi)有合適的調(diào)試工具,這項(xiàng)任務(wù)耗時(shí)長(zhǎng)、非常麻煩。
為了滿足那些不需要**系統(tǒng)級(jí)自 動(dòng)化能力的應(yīng)用需求,吉時(shí)利對(duì)2600B系 列數(shù)字源表進(jìn)行了擴(kuò)展,推出3中*新的高性價(jià)比臺(tái)式型號(hào)產(chǎn)品——2604B、2614B和 2634B。這些型號(hào)產(chǎn)品性能分別與2602B、 2612B和2636B相似,但它們不包括TSP Link、接觸檢查以及數(shù)字I/O能力。
完整的自動(dòng)化系統(tǒng)解決方案
吉時(shí)利S500綜合測(cè)試系統(tǒng)是基于儀 器的、可高度配置的系統(tǒng),適合器件、 晶圓或晶圓盒的半導(dǎo)體特性分析。S500 綜合測(cè)試系統(tǒng)基于已被證明的2600系列 系統(tǒng)數(shù)字源表源測(cè)量單元(SMU),提供 **的測(cè)量特性與系統(tǒng)靈活性,可以根據(jù)需求進(jìn)行升級(jí)。其獨(dú)特的測(cè)量能力, 再加上強(qiáng)大而靈活的自動(dòng)特性分析套 件(ACS)軟件,為客戶提供**的應(yīng)用 范圍和特性,這是市場(chǎng)上競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品所不具備的。
表1 2600B軟件工具
當(dāng)您需要對(duì)封裝器件數(shù)據(jù)進(jìn)行快速采集時(shí),通過(guò) ACS Basic版本軟件基于相當(dāng)?shù)挠脩艚缑妫苋菀?發(fā)現(xiàn)和運(yùn)行期望的測(cè)試,就像常見(jiàn)的 FET曲線跟 蹤測(cè)試一樣。
ACS Basic版本軟件具有靈活的軟件體系結(jié)構(gòu),允許為 系統(tǒng)配置多種控制器與測(cè)試夾具,并可以根據(jù)應(yīng)用需要, 配置所需的數(shù)字源表數(shù)量。
典型應(yīng)用
各種器件的I-V功能測(cè)試和特征分析,包括:
分立和無(wú)源元件
– 兩抽頭器件——傳感器、磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器頭、金屬 氧化物可變電阻(MOV)、二極管、齊納二極 管、電容、熱敏電阻
– 三抽頭器件——小信號(hào)雙極結(jié)型晶體管(BJT)場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET),等等
簡(jiǎn)單IC器件——光學(xué)器件、驅(qū)動(dòng)器、開(kāi)關(guān)、傳感 器、轉(zhuǎn)換器、穩(wěn)壓器
集成器件——小規(guī)模集成(SSI)和大規(guī)模集成(LSI) – 模擬IC
– 射頻集成電路(RFIC)
– 專用集成電路(ASIC)
– 片上系統(tǒng)(SOC)器件
光電器件,例如發(fā)光二極管(LED)、激光二極管高亮度LED(HBLED)、垂直腔面發(fā)射激光器 (VCSEL)、顯示器
圓片級(jí)可靠性
– NBTI、TDDB、HCI、電遷移
太陽(yáng)能電池
2604B/2614B型儀表的背板(單通道2601B, 2611B, 2635B沒(méi)有給出)。
2636B型儀表的背板
在**和第三象限,2600B系列儀器用作信號(hào)源,向負(fù)載提供 電源。在**和第四象限,2600B系列儀器用作信號(hào)宿,內(nèi)部 消耗功率。
2601B、2602B和2604B的I-V測(cè)試功能
2611B、2612B和2614B的I-V 測(cè)試功能